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單晶爐用電機(jī)減速機(jī)怎么選型

文章出處:瓦瑪特傳動(dòng)   責(zé)任編輯:禁止轉(zhuǎn)載   發(fā)布時(shí)間:2023-08-15 17:09:30    點(diǎn)擊數(shù):-   【
單晶爐用電機(jī)減速機(jī)怎么選型_瓦瑪特傳動(dòng)。單晶爐在半導(dǎo)體制造中起著至關(guān)重要的作用。半導(dǎo)體器件需要具有高純度和完美結(jié)晶的單晶材料,以實(shí)現(xiàn)電子流暢傳導(dǎo)和器件性能的最佳化。通過(guò)單晶爐可以生長(zhǎng)出大尺寸、高質(zhì)量的硅單晶,用于制造晶體管、集成電路等半導(dǎo)體器件。但是在單晶爐的運(yùn)行過(guò)程中,此時(shí)需要的是一款電機(jī)配減速機(jī)驅(qū)動(dòng)他的設(shè)備進(jìn)行運(yùn)行,此時(shí)的情況下不知道使用多大的型號(hào)進(jìn)行匹配會(huì)比較合適,所以他看看單晶爐電機(jī)減速器選型的一些情況。

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在用戶(hù)為他的單晶爐選擇驅(qū)動(dòng)伺服電機(jī)減速機(jī)的時(shí)候,此時(shí)并不知道他的設(shè)備的一些參數(shù)要求,所以并不好選擇出對(duì)應(yīng)的型號(hào)進(jìn)行匹配使用,所以在這樣的情況下要考慮一下設(shè)備的實(shí)際的情況。那么來(lái)看看用戶(hù)的設(shè)備的一些情況吧。單晶爐用坩堝驅(qū)動(dòng)裝置,具有坩堝軸、堝升裝置和堝轉(zhuǎn)裝置,堝升裝置由底座、導(dǎo)軌座和堝升電機(jī)組成,導(dǎo)軌座設(shè)置在底座上,導(dǎo)軌座垂直方向設(shè)置有絲桿,絲桿固定在導(dǎo)軌座上,絲桿頂部設(shè)置有堝升減速電機(jī),絲桿通過(guò)設(shè)置的聯(lián)軸器與坩堝軸連接。堝轉(zhuǎn)裝置為堝轉(zhuǎn)電機(jī),堝轉(zhuǎn)電機(jī)與坩堝軸電性連接。坩堝軸豎直方向兩個(gè)設(shè)置有波紋管,軸向設(shè)置有堝轉(zhuǎn)磁流體。坩堝軸頂部設(shè)置有至少3個(gè)定位桿,該坩堝驅(qū)動(dòng)裝置瓦瑪特電機(jī)NMRV減速機(jī)通過(guò)坩堝軸、堝升裝置和堝轉(zhuǎn)裝置之間連接,控制坩堝升降和旋轉(zhuǎn),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。坩堝旋轉(zhuǎn)采用可成承受高轉(zhuǎn)矩的多碶帶驅(qū)動(dòng),消除了傳送帶傳動(dòng)時(shí)的震顫,傳送平穩(wěn)。至少3個(gè)定位桿,坩堝在坩堝軸上受力均勻,進(jìn)一步保證了坩堝在升降、旋轉(zhuǎn)過(guò)程中的平穩(wěn)性,提高生長(zhǎng)晶體的質(zhì)量。坩堝軸底部設(shè)置有瓦瑪特減速電機(jī)驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)接頭,坩堝軸和旋轉(zhuǎn)接頭之間設(shè)置有調(diào)整墊鐵。旋轉(zhuǎn)接頭下方分別設(shè)置有出水口和進(jìn)水口,進(jìn)水口與出水口由設(shè)置在坩堝軸內(nèi)部管道連接并相通。調(diào)整墊鐵可以微調(diào)節(jié)坩堝軸的軸心,使坩堝軸始終保持垂直狀態(tài)。增加冷卻水管道,可以減少單晶爐中高溫對(duì)坩堝軸的影響,延長(zhǎng)坩堝驅(qū)動(dòng)裝置減速器的使用壽命。該坩堝驅(qū)動(dòng)裝置通過(guò)坩堝軸、堝升裝置和堝轉(zhuǎn)裝置之間連接,控制坩堝升降和旋轉(zhuǎn),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。坩堝旋轉(zhuǎn)采用可成承受高轉(zhuǎn)矩的多碶帶驅(qū)動(dòng),消除了傳送帶傳動(dòng)時(shí)的震顫,傳送平穩(wěn)。采用滾珠直線(xiàn)導(dǎo)軌可以保證在升降坩堝軸時(shí)的平穩(wěn)性,并同過(guò)瓦瑪特電機(jī)平行軸減速機(jī)帶動(dòng)高精度絲桿判斷坩堝軸旋轉(zhuǎn)的速度及長(zhǎng)度,同時(shí)可以在高負(fù)載甚至堝升電機(jī)減速機(jī)斷電時(shí)實(shí)現(xiàn)自鎖,安全性好。通過(guò)設(shè)置的筋板支撐導(dǎo)軌座和底座,可以提高坩堝驅(qū)動(dòng)裝置整體的剛度,避免由側(cè)向力矩引起導(dǎo)軌座和絲桿變形,坩堝驅(qū)動(dòng)裝置強(qiáng)度高,剛性好。這是用戶(hù)的設(shè)備使用電機(jī)減速器的一些情況。
在用戶(hù)的選型過(guò)程中,他的要求是使用上一款齒輪減速電機(jī)進(jìn)行匹配組合,但是他并沒(méi)有具體的參數(shù)要求進(jìn)行匹配使用,所以并沒(méi)有具體的型號(hào)參數(shù)提供,不同的設(shè)備使用情況不一樣,所以在選型的過(guò)程中要綜合設(shè)備的使用參數(shù)要求以及運(yùn)行的實(shí)際環(huán)境情況去選擇對(duì)應(yīng)的電機(jī)以及減速機(jī)進(jìn)行匹配使用。更多的設(shè)備選型可以咨詢(xún)VEMTE選型技術(shù)人員或者是下載資料查看具體的參數(shù)配置情況。

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